Fournit un environnement expérimental avec vide, atmosphère contrôlée et haute température.
Ce système de croissance CVD convient aux processus CVD, tels que le revêtement de carbure de silicium, les tests de conductivité des substrats céramiques, la croissance contrôlée des nanostructures de ZnO et les expériences de frittage en atmosphère MLCC.
1. Le four est constitué d'adsorption sous vide de fibre de mullite polycristalline, le champ de température est uniforme et l'économie d'énergie est supérieure à 50%
2. La technologie de déviation d'air et d'isolation thermique assure la durée de vie et l'effet de température constant de chaque composant dans la boîte
3. Démarrez la fournaise électrique et le ventilateur d'extraction fonctionnera automatiquement en même temps. Après le test, le ventilateur d'extraction continuera de fonctionner jusqu'à ce que la température du corps du four soit inférieure à 60 °C, et le ventilateur d'extraction s'arrêtera automatiquement, ce qui protège efficacement la surface du corps du four.
4. Mise hors tension automatique, fonction de protection contre la surchauffe, fonction de protection contre les fuites pour assurer la sécurité d'utilisation
5. Le circuit adopte un mode de sortie de chauffage continu, une alimentation à double circuit et un câblage séparé du courant fort et faible améliore la stabilité du système
6. Le module de chauffage adopte un signal CC pour ajuster la puissance de sortie, ce qui évite les interférences de l'électricité induite avec le signal de commande.
7. Compensation automatique de l'effet de contrôle de la température causé par la température ou le vieillissement sur le changement de valeur de résistance de la tige de carbure de silicium, évitant l'imprécision et le danger d'un réglage artificiel
8. Adoptez un instrument d'affichage de débit numérique, coopérez avec un contrôleur de débit massique, collectez des données et contrôlez le débit. Il a les caractéristiques d'une bonne répétabilité, d'une vitesse de réponse rapide, de stabilité et de fiabilité. (Système de contrôle du débit massique de gaz)
9. Contrôle automatique et fonction de commutation de contrôle manuel, le mode de contrôle automatique peut automatiquement allumer/éteindre la pompe à vide via la valeur définie pour maintenir le récipient dans une certaine plage de pression de vide. Le mode de contrôle manuel permet à l'utilisateur de faire fonctionner directement la pompe à vide via le bouton marche/arrêt de la pompe à vide. pour répondre aux besoins des différentes expériences. (Système de contrôle du vide moyen)
10 technologie de démarrage lent de l'électrovanne, de sorte que l'électrovanne est ouverte 10 secondes après la mise en marche de la pompe à vide, de sorte que la pression du système dans le tube du four soit maintenue précise, et cela garantit également que les gaz d'échappement ne reviendront pas au système de tube de four pour affecter l'effet expérimental (système de contrôle de vide moyen)
Modèle | CVD-LTF14P40 | CVD-LTF14P50 | CVD-LTF14P60 | CVD-LTF14P80 |
CVD-LTF14T40 | CVD-LTF14T50 | CVD-LTF14T60 | CVD-LTF14T80 | |
Plage de température de fonctionnement | 300~1400℃ | |||
Résolution de température | 1℃ | |||
Contrôle de la température | ± 1℃ | |||
Taux de chauffage | 0~20℃/minute | |||
Longueur de la zone de chauffage | 200mm | 400mm | ||
Longueur de la zone à température constante | 70mm | 140mm | ||
degré de vide | -0.1MPa | |||
Temps de chauffage du four vide | ≤15 minutes | |||
Taux de chauffage lors de la configuration du tube de four | Au-dessous de 500℃ ≤5℃/min；500-1000≤10℃/min；1000-1200≤5℃/min；1000-1400≤2℃/min | |||
Extérieur | Tôle d'acier laminée à froid avec revêtement résistant aux produits chimiques sur la surface | |||
Corps de four | Fibre de mullite polycristalline | |||
Taille du four | 360*350*350mm | 560*350*350mm | ||
Tube de four | Tube de corindon | |||
Taille du tube du four | Φ40/34*1000 | Φ50/44*1000 | Φ60/50*1000 | Φ80/70*1000 |
Chauffe-eau | Tige en carbure de silicium | |||
Puissance de chauffage | 3KW | 5KW | ||
Couche d'isolation thermique | Déviation d'air forcé à double couche | |||
Voie ouverte | Non | |||
Manette | P : affichage numérique de contrôle de la température du programme importé ; T: contrôle de la température du programme à écran tactile couleur de 7 pouces | |||
Methode de CONTROLE | Utilisation du contrôle PID du micro-ordinateur | |||
Comment régler | P : touchez cinq boutons pour l'action, le réglage de l'affichage numérique ; T : toucher du doigt et appuyer pour régler | |||
Méthode d'affichage | P : affichage numérique à LED à double ligne ; T : écran LCD couleur | |||
Horaire | 0~999.9 heures | |||
Exécuter la fonction | Opération de valeur fixe, opération de programme | |||
Mode programme | P : programme en cours, 4 courbes, un total de 40 pas ; T : 50 étapes peuvent appeler le programme enregistré | |||
Capteur | Thermocouple de type S | |||
Fonction auxiliaire | P : fonction de correction ; T : fonction de correction, enregistrement de courbe en temps réel, exportation de données de disque U | |||
Équipement de sécurité | Commutateur de protection contre les fuites de surintensité | |||
Nombre de trajets aériens | 3 canaux (le nombre de canaux d'air peut être sélectionné en fonction des besoins spécifiques) | |||
Plage de débit | 0-0500sccm (standard ml/min, en option) standard d'azote | |||
Précision | ±1 % P.E. | |||
Temps de réponse | ≤4s | |||
Température de fonctionnement (débitmètre) | 5-45℃ | |||
La pression de travail | Pression d'entrée 0.05-0.3MPa (pression manométrique) | |||
Connexion système | Adoptez le soufflet à connexion rapide KF, la vanne à clapet manuelle à vide poussé et l'instrument de mesure du vide à affichage numérique | |||
Plage de vide du système | 10-100Pa | |||
Pompe à vide | Le degré de vide ultime théorique de la pompe mécanique à deux étages est de 3x10-1Pa, le débit de pompage est de 4L/s, la sortie d'air est équipée d'un filtre à huile, la tension nominale est de 200V et la puissance est de 0,55Kw | |||
Configuration du système CVD | Four à tubes sous vide à 1400 degrés Système de contrôle du débit massique multicanaux Système de vide | |||
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