Système CVD de four tubulaire à atmosphère sous vide de type ouvert de 1200 ° C

LA DESCRIPTION

Fournir un environnement expérimental avec vide, atmosphère contrôlable et haute température, utilisé dans les semi-conducteurs, la nanotechnologie, la fibre de carbone et d'autres domaines.

Ce système de croissance CVD convient aux processus CVD, tels que le revêtement de carbure de silicium, les tests de conductivité des substrats céramiques, la croissance contrôlée des nanostructures de ZnO et les expériences de frittage en atmosphère MLCC.

FONCTIONNALITÉS

1. Le four est constitué d'adsorption sous vide de fibre de mullite polycristalline, le champ de température est uniforme et l'économie d'énergie est supérieure à 50%

2. La technologie de déviation d'air et d'isolation thermique auto-développée garantit la durée de vie et l'effet de température constant de chaque composant dans la boîte

3.Lorsque la fournaise électrique est démarrée, le ventilateur d'extraction fonctionnera automatiquement en même temps. Après le test, le ventilateur d'extraction continuera de fonctionner jusqu'à ce que la température du corps du four soit inférieure à 60 °C, et le ventilateur d'extraction s'arrêtera automatiquement, ce qui protège efficacement la surface du corps du four.

4. La porte du four est ouverte avec une fonction de mise hors tension automatique, une fonction de protection contre la surchauffe et une fonction de protection contre les fuites pour assurer la sécurité d'utilisation.

5. Le circuit adopte un mode de sortie de chauffage continu, une alimentation à double circuit et un câblage séparé du courant fort et faible améliore la stabilité du système

6. Le module de chauffage adopte un signal CC pour ajuster la puissance de sortie, ce qui évite les interférences de l'électricité induite avec le signal de commande.

7. Les boutons métalliques basse tension sont utilisés pour les boutons de fonctionnement, avec des voyants d'état, un fonctionnement sûr et intuitif.

8.Les corps de four supérieur et inférieur sont reliés par des prises d'aviation, qui sont sûres, fiables et pratiques à connecter.

9. L'ensemble du circuit de gaz est fabriqué en acier inoxydable 316 de qualité alimentaire, qui a une résistance à la corrosion, une résistance à la corrosion atmosphérique et une résistance aux hautes températures, et est non magnétique.

10. Adoptez un instrument d'affichage de débit numérique, coopérez avec le contrôleur de débit massique, collectez des données et contrôlez le débit. Il a les caractéristiques d'une bonne répétabilité, d'une vitesse de réponse rapide, de stabilité et de fiabilité. (Système de contrôle du débit massique de gaz)

11. Contrôle automatique et fonction de commutation de contrôle manuel, le mode de contrôle automatique peut automatiquement ouvrir/fermer la pompe à vide via la valeur définie, de sorte que le récipient puisse être maintenu dans une certaine plage de pression de vide. Le mode de contrôle manuel permet à l'utilisateur de faire fonctionner directement la pompe à vide via le bouton marche/arrêt de la pompe à vide. pour répondre aux besoins des différentes expériences. (Système de contrôle du vide moyen)

12. La technologie de démarrage lent de l'électrovanne ouvre l'électrovanne 10 secondes après la mise en marche de la pompe à vide, de sorte que la pression du système dans le tube du four reste précise et garantit également que les gaz d'échappement ne reviendront pas au four. système de tube pour affecter l'effet expérimental (système de contrôle de vide moyen)

CARACTÉRISTIQUES