Four tubulaire à atmosphère sous vide Fabricant et fournisseur en Chine
Système CVD de four à tube à atmosphère sous vide 1400℃
Système CVD de four à tube à atmosphère sous vide 1400℃

Système CVD de four à tube à atmosphère sous vide 1400℃

Fournit un environnement expérimental avec vide, atmosphère contrôlée et haute température. Ce système de croissance CVD convient aux processus CVD, tels que le revêtement de carbure de silicium, les tests de conductivité des substrats céramiques, la croissance contrôlée des nanostructures de ZnO et les expériences de frittage en atmosphère MLCC.
  • ModèleCVD-LTF14P/ CVD-LTF14T Series
  • MarqueLABOAO
  • PortN'importe quel port en Chine
  • PaquetCaisse de contreplaqué
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LA DESCRIPTION

Fournit un environnement expérimental avec vide, atmosphère contrôlée et haute température.

Ce système de croissance CVD convient aux processus CVD, tels que le revêtement de carbure de silicium, les tests de conductivité des substrats céramiques, la croissance contrôlée des nanostructures de ZnO et les expériences de frittage en atmosphère MLCC.

FONCTIONNALITÉS

1. Le four est constitué d'adsorption sous vide de fibre de mullite polycristalline, le champ de température est uniforme et l'économie d'énergie est supérieure à 50%

2. La technologie de déviation d'air et d'isolation thermique assure la durée de vie et l'effet de température constant de chaque composant dans la boîte

3. Démarrez la fournaise électrique et le ventilateur d'extraction fonctionnera automatiquement en même temps. Après le test, le ventilateur d'extraction continuera de fonctionner jusqu'à ce que la température du corps du four soit inférieure à 60 °C, et le ventilateur d'extraction s'arrêtera automatiquement, ce qui protège efficacement la surface du corps du four.

4. Mise hors tension automatique, fonction de protection contre la surchauffe, fonction de protection contre les fuites pour assurer la sécurité d'utilisation

5. Le circuit adopte un mode de sortie de chauffage continu, une alimentation à double circuit et un câblage séparé du courant fort et faible améliore la stabilité du système

6. Le module de chauffage adopte un signal CC pour ajuster la puissance de sortie, ce qui évite les interférences de l'électricité induite avec le signal de commande.

7. Compensation automatique de l'effet de contrôle de la température causé par la température ou le vieillissement sur le changement de valeur de résistance de la tige de carbure de silicium, évitant l'imprécision et le danger d'un réglage artificiel

8. Adoptez un instrument d'affichage de débit numérique, coopérez avec un contrôleur de débit massique, collectez des données et contrôlez le débit. Il a les caractéristiques d'une bonne répétabilité, d'une vitesse de réponse rapide, de stabilité et de fiabilité. (Système de contrôle du débit massique de gaz)

9. Contrôle automatique et fonction de commutation de contrôle manuel, le mode de contrôle automatique peut automatiquement allumer/éteindre la pompe à vide via la valeur définie pour maintenir le récipient dans une certaine plage de pression de vide. Le mode de contrôle manuel permet à l'utilisateur de faire fonctionner directement la pompe à vide via le bouton marche/arrêt de la pompe à vide. pour répondre aux besoins des différentes expériences. (Système de contrôle du vide moyen)

10 technologie de démarrage lent de l'électrovanne, de sorte que l'électrovanne est ouverte 10 secondes après la mise en marche de la pompe à vide, de sorte que la pression du système dans le tube du four soit maintenue précise, et cela garantit également que les gaz d'échappement ne reviendront pas au système de tube de four pour affecter l'effet expérimental (système de contrôle de vide moyen)

CARACTÉRISTIQUES

Modèle

CVD-LTF14P40

CVD-LTF14P50

CVD-LTF14P60

CVD-LTF14P80

CVD-LTF14T40

CVD-LTF14T50

CVD-LTF14T60

CVD-LTF14T80

Plage de température de fonctionnement

300~1400

Résolution de température

1

Contrôle de la température

± 1

Taux de chauffage

0~20/minute

Longueur de la zone de chauffage

200mm

400mm

Longueur de la zone à température   constante

70mm

140mm

degré de vide

-0.1MPa

Temps de chauffage du four vide

≤15 minutes

Taux de chauffage lors de la   configuration du tube de four

Au-dessous de 500 ≤5/min500-1000≤10/min1000-1200≤5/min1000-1400≤2/min

Extérieur

Tôle d'acier laminée à froid avec   revêtement résistant aux produits chimiques sur la surface

Corps de four

Fibre de mullite polycristalline

Taille du four

360*350*350mm

560*350*350mm

Tube de four

Tube de   corindon

Taille du tube du four

Φ40/34*1000

Φ50/44*1000

Φ60/50*1000

Φ80/70*1000

Chauffe-eau

Tige en carbure de silicium

Puissance de chauffage

3KW

5KW

Couche d'isolation thermique

Déviation d'air forcé à double couche

Voie ouverte

Non

Manette

P : affichage numérique de   contrôle de la température du programme importé ; T: contrôle de la   température du programme à écran tactile couleur de 7 pouces

Methode de CONTROLE

Utilisation du contrôle PID du   micro-ordinateur

Comment régler

P : touchez cinq boutons pour   l'action, le réglage de l'affichage numérique ; T : toucher du   doigt et appuyer pour régler

Méthode d'affichage

P : affichage numérique à LED à   double ligne ; T : écran LCD couleur

Horaire

0~999.9 heures

Exécuter la fonction

Opération de valeur fixe, opération de   programme

Mode programme

P : programme en cours, 4 courbes, un   total de 40 pas ; T : 50 étapes peuvent appeler le programme enregistré

Capteur

Thermocouple de type S

Fonction auxiliaire

P : fonction de correction ; T :   fonction de correction, enregistrement de courbe en temps réel, exportation   de données de disque U

Équipement de sécurité

Commutateur de protection contre les   fuites de surintensité

Nombre de trajets aériens

3 canaux (le nombre de canaux d'air   peut être sélectionné en fonction des besoins spécifiques)

Plage de débit

0-0500sccm (standard ml/min, en   option) standard d'azote

Précision

±1 % P.E.

Temps de réponse

≤4s

Température de fonctionnement   (débitmètre)

5-45

La pression de travail

Pression d'entrée 0.05-0.3MPa   (pression manométrique)

Connexion système

Adoptez le soufflet à connexion rapide   KF, la vanne à clapet manuelle à vide poussé et l'instrument de mesure du   vide à affichage numérique

Plage de vide du système

10-100Pa

Pompe à vide

Le degré de vide ultime théorique de   la pompe mécanique à deux étages est de 3x10-1Pa, le débit de pompage est de   4L/s, la sortie d'air est équipée d'un filtre à huile, la tension nominale   est de 200V et la puissance est de 0,55Kw

Configuration du système CVD

Four à tubes sous vide à 1400 degrés   Système de contrôle du débit massique multicanaux Système de vide

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